(1)除霧效率
除霧效率指除沫器（除霧器）在單位時間內捕集到的液滴質量與進入除沫器（除霧器）液滴質量的比值。除霧效率是考核除沫器（除霧器）性能的關鍵指標。影響除霧效率的因素很多,主要包括:煙氣流速、通過除沫器（除霧器）斷面氣流分布的均勻性、葉片結構、葉片之間的距離及除沫器（除霧器）布置形式等。
(2) 系統壓力降
指煙氣通過除沫器（除霧器）通道時所產生的壓力損失,系統壓力降越大,能耗就越高。除霧系統壓降的大小主要與煙氣流速、葉片結構、葉片間距及煙氣帶水負荷等因素有關。當除沫器（除霧器）葉片上
結垢嚴重時系統壓力降會明顯提高,所以通過監測壓力降的變化有助把握系統的狀行狀態,及時發現問題,并進行處理。
(3) 煙氣流速
通過除沫器（除霧器）斷面的煙氣流速過高或過低都不利于除沫器（除霧器）的正常運行,煙氣流速過高易造成煙氣二次帶水,從而降低除霧效率,同時流速高系統阻力大,能耗高。通過除沫器（除霧器）斷面的流速過低,不利于氣液分離,同樣不利于提高除霧效率。此外設計的流速低,吸收塔斷面尺寸就會加大,投資也隨之增加。設計煙氣流速應接近于臨界流速。根據不同除沫器（除霧器）葉片結構及布置形式,設計流速一般選定在3. 5～5. 5m/ s 之間。
(4) 除沫器（除霧器）葉片間距
除沫器（除霧器）葉片間距的選取對保證除霧效率,維持除霧系統穩定運行至關重要。葉片間距大,除霧效率低,煙氣帶水嚴重,易造成風機故障,導致整個系統非正常停運。葉片間距選取過小,除加大能耗外,沖洗的效果也有所下降,葉片上易結垢、堵塞,最終也會造成系統停運。葉片間距根據系統煙氣特征(流速、SO2 含量、帶水負荷、粉塵濃度等) 、吸收劑利用率、葉片結構等綜合因素進行選取。葉片間距一般設計在20～95mm。目前脫硫系統中最常用的除沫器（除霧器）葉片間距大多在30～50mm。
(5) 除沫器（除霧器）沖洗水壓
除沫器（除霧器）水壓一般根據沖洗噴嘴的特征及噴嘴與除沫器（除霧器）之間的距離等因素確定(噴嘴與除沫器（除霧器）之間距離一般≤1m) ,沖洗水壓低時,沖洗效果差,沖洗水壓過高則易增加煙氣帶水,同時降低葉片使用壽命。一般情況下,第二級除沫器（除霧器）之間,每級除沫器（除霧器）正面(正對氣流方向) 與背面的沖洗壓力都不相同,第1 級除沫器（除霧器）的沖洗水壓高于第2 級除沫器（除霧器）,除沫器（除霧器）正面的水壓應控制在2. 5 ×105Pa 以內,除沫器（除霧器）背面的沖洗水壓應> 1. 0 ×105Pa ,具體的數值需根據工程的實際情況確定。
(6) 除沫器（除霧器）沖洗水量
選擇除沫器（除霧器）沖水量除了需滿足除沫器（除霧器）自身的要求外,還需考慮系統水平衡的要求,有些條件下需采用大水量短時間沖洗,有時則采用小水量長時間沖洗,具體沖水量需由工況條件確定,一般情況下除沫器（除霧器）斷面上瞬時沖洗耗水量約為1～4m3/ m2·h。
(7) 沖洗覆蓋率
沖洗覆蓋率是指沖洗水對除沫器（除霧器）斷面的覆蓋程度。沖洗覆蓋率% = nπh2 tg2αA×100 %
式中n 為噴嘴數量;α為噴射擴散角; A 為除沫器（除霧器）有效通流面積,m2 ; h 為沖洗噴嘴距除沫器（除霧器）表面的垂直距離,m。根據不同工況條件,沖洗覆蓋率一般可以選在100 %～300 %之間。